紫外线光源在高新技术领域的应用

下表例示了在高新领域主要的一些应用、相关波长以及通常使用的相关光源。

应用

主要相关波

长

一般使用光源

光清洗

150-300nm

石英低压水银放电管、光化学用水银灯、卤素激元体放电管（excimer lamp）

光蚀刻

150-300nm

低压石英水银灯、卤素激元体激光、超高压水银灯

光灰化（感光膜剥离）

150-300nm

低压水银灯、光化学用水银灯、卤素激元体放电管、超高压水银灯

光改质、改性

150-300nm

低压水银放电管、光化学用水银灯、卤素激元体放电管

光刻、曝光

0.1-480nm

光化学用水银灯、超高压水银灯、卤素激元体放电管、卤素激元体激光（excimer laser）、X线源、电子束、毛细管型超高压水银灯、Deep UV线灯、氙灯

光CVD

150-400nm

光化学用水银灯、低压石英放电管、卤素激元体放电管、卤素激元体激光、同步加速器放射光

光触媒、光催化作用

150-400nm

低压石英水银灯、杀菌灯、紫外线荧光灯、高压水银灯

光分解

150-400nm

低压石英水银灯、杀菌灯、高压水银灯、卤素激元体放电管

光氧化

150-400nm

低压石英水银灯、杀菌灯、高压水银灯

光合成

250-600nm

石英水银灯、金卤灯

光固化、硬化、干燥、胶合

200-480nm

光化学用水银灯、金卤灯、氙灯、水银氙灯、紫外线荧光灯、无电极灯

紫外线造型

200-480nm

高压汞灯、光化学用水银灯、金卤灯、氙灯、低压石英水银灯、光造型用Ar激光器

杀菌

200-320nm

低压石英水银灯、杀菌灯、石英水银灯、冷阴极水银灯、无电极紫外线杀菌放电管

基因导入技术

200-300nm

紫外线低压汞灯、冷阴极汞灯

臭氧检测

200-300nm

冷阴极石英汞灯、低压石英水银灯

光电子表面分析

10-400nm

氦辉光放电管、激光、同步加速器放射光

元素分析

100-400nm

原子光谱灯、无极微波紫外光谱灯