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广东准分子光电科技有限公司172nm准分子灯JSR自1979年4月开始销售光刻胶以来,以满足半导体行业的需求为宗旨,40多年来不断的向全球客户提供着提供光刻材料、CMP材料和封装材料。 JSR在致力于解决全球客户问题的同时,半导体材料的销售额也随之稳步增长。 我们将继续以在日本开发的技术为基础,应对各种半导体工艺上的课题挑战,为半导体市场的增长做出重大贡献

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产品描述

波长172nm 长度50-2500mm 管径15-44mm 强度50-100mw/cm2 寿命1500-2000小时 功率20-2500瓦 冷却方式水冷/气冷 氮气吹扫可选 用途晶圆清洗、vuv清洗
与传统汞紫外线灯比较,准分子紫外线灯光强超大,靶向,绿色环保,可回收,没有二次污染,克服现有技术瓶颈,以其高能量密度、低反应温度、大反应面积、反应时间短的卓越特性,在微电子、医学、材料科学和环境保护等领域获得广泛和特的应用。
准分子光源作用原理
基于准分子光源特点,我们来看看准分子光源是如何产生作用的。以准分子波长172 nm为例,紫外线照射固体表面后,表面的污染物有机分子结合被强的光能切断、氧化,而后分解成氧气和氢气等易挥发性物质,终挥发消失,被清洗后的表面清洁度高。
1、打破分子键
打破有机物质的分子键的能量需要超过物质结合能的光能,同时物质的能量吸收(激发)越大,越容易引发反应(分解)并且所需的处理时间越短。因此使用低压紫外线灯无法打破的结合能可以使用准分子灯产生的 172nm 波长进行分解。
2、大量产生激发态氧原子
准分子紫外线灯与传统汞紫外线灯比较,光强超大,靶向,无汞制造,绿色环保,可回收,没有污染。与低压紫外灯的185nm波长相比,准分子灯172nm波长的分子氧吸收系数大20倍左右。这不仅可以产生高密度的活性氧,而且通过直接作用于氧气,可以产生具有强大氧化能力的强激发氧。
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准分子是一种在激发态结合而基态离解的受激二聚体。准分子激光的